کتاب فناوری میکرو ماشین کاری و کاربردهای آن در MEMS نوشته رضا ندافی توسط انتشارات دانشگاه صنعتی امیرکبیر به چاپ رسیده است.
موضوع کتاب:
مهندسی مکانیک، فناوری میکرو
اصطلاح MEMS در ایالات متحده به سیستم های الکترومکانیکی میکرونی اطلاق می شود معمولا در تعریف آن شامل مجموعه گسترده ای از ویژگی ها حول مفهوم "کوچک"می باشد
معرفی مباحث کتاب فناوری میکرو ماشین کاری و کاربردهای آن در MEMS
- مقدمه ای بر MEMS
- مارد رایج در MEMS
- فرآیندهای میکروماشین کاری
- ابزارهای طراحی وشبیه سازی در MEMS
- کاربردهای MEMS در فضا
- کاربرد سازه ها وسیستم های MEMS در خودرو
- کاربردهای نوری ساختارها وسیستم های MEMS
- کاربردهای MEMS در علوم زیستی
- ساختارهای MEMS در کاربردهای فرکانس رادیویی (RF)
- کاربرد MEMS در حسگرهای بویایی
- بسته بندی وقابلیت اطمینانمحصولات MEMS
